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超精加工一般可分为三个阶段：切削阶段、半切削阶段、光整阶段。
（1）切削阶段
磨石表面与粗糙滚道表面的凸峰接触时，由于接触面积较小，单位面积上的压力较大，在一定压力作用下，磨石首先受到工件的“反切削”作用，使磨石表面的部分磨粒脱落和碎裂，露出一些新的锋利的磨粒和刃边。与此同时，工件表面的凸峰受到快速切削，通过切削与反切削作用除去工件表面上的凸峰和磨削变质层。这一阶段被称为切削阶段，在这个阶段切除了大部分的金属余量。
（2）半切削阶段
随着加工的继续进行，工件表面逐渐被磨平。这时，磨石与工件表面接触面积增加，单位面积上的压力减小，切削深度减小，切削能力减弱。同时，磨石表面的气孔被堵塞，磨石处于半切削状态。这一阶段被称为半切削阶段，在半切削阶段工件表面切削痕迹变浅，并出现较暗的光泽。
（3）光整阶段
这是超精加工的最后阶段。随着工件表面被逐步磨平，磨石与工件表面的接触面积进一步增大，并且，磨石与工件表面之间逐渐被润滑油膜隔离，单位面积上的压力很小，已不足以使磨石自锐，切削作用减小，最后趋于自动停止切削。这一阶段被称为光整阶段。光整阶段工作表面无切削痕迹，出现全面光泽。
超精研是指在良好的润滑条件下，工件以一定的速度旋转，同时用细粒度的磨石以一定的压力压向工件加工表面，并且在垂直于工件旋转方向作往复震荡运动的一种加工方法。它具有下列特点：
轴承套圈超精研的特点
1.能有效的减小波纹度。超精研过程中，当磨石与工件接触的圆弧大于或等于工件表面波纹度的波长时，就能保证磨石始终作用于波峰而不与波谷接触，这样波峰的接触压力较大，凸峰就被切除，因而减少了波纹度。
2.改善球轴承滚道的沟形误差。超精研可以有效的改善滚道的沟形误差，一般可改善35％左右。
3.能使被超精研表面产生压应力。超精研过程中主要产生冷塑形变形，因而超精研后工件表面形成残余压应力。
4.降低表面粗糙度值。
5.能使套圈工作表面的接触面积增加。超精研后，套圈工作表面接触支承面积可由磨削后的15％～40％，增加到80％～95％。
6.生产效率高，劳动强度低，易于实现自动化。
轴承套圈滚道磨削的特点
1.与其他表面的磨削相比，对上工序的加工质量要求较高。上工序加工精度的好坏将直接影响滚道的磨削质量，如：滚道曲率半径如果在上工序不能保证，在下工序的磨削加工过程中就很难加工出滚道曲率合格的套圈。
2.在球轴承的外滚道磨削过程中，砂轮与工件接触面积较大，产生磨削热大且切削液不能充分喷射入磨削区，因此如果磨削参数选择不当将出现磨削裂纹和烧伤。
3.外滚道磨削时，因受空间位置的影响，砂轮直径较小，因此为了保证足够的砂轮线速度，应提高砂轮主轴的转速。
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