BW掃瞄式電子顯微鏡原理與應用1-1 www.tool-tool.com
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勤益技術大學
機械系張子欽副教授主編
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內 容
一、電子顯微鏡的發展歷史與簡介
二、電子光學
三、電子束與試片之交互作用
四、SEM影像對比
五、電子顯微鏡之相關研究成果
電子顯微鏡的發展歷史與簡介
電 子顯微鏡和光學顯微鏡最大的不同，在於光學顯微鏡以「可見光」為光源，由透鏡組將影像放大。而 電子顯微鏡則以「電子束」，由「磁場」來作「透 鏡」來「折射」電子束。 電子於1897年由英國 人J.J.Thomson發現，到量子力學的出現，提出電子波質二元論的理論，即電子既然有粒子的特性，亦有波動的特性，所以電子亦應該有繞射現象。
世 上最早的顯微鏡是在1590年發明 的，17世紀發明了光學顯微鏡，18世紀藉助顯微鏡發現 了細胞。 但光學顯微鏡的放大倍率，其實是受限於可 見光的「波長」，當被觀察的物體比可見光的波長還 要小時，我們就無法清楚地鑑。這使人們沒法再進 一步探索一個更細微的世界。直到本領更強的電子顯 微鏡出現，微觀世界的面貌，才能更進一步的發掘 。
一般光學顯微鏡受美於光波之波長其解析力之極限約為0.2μ，無法滿足人類永無止境探索欲望， 因而才有電子顯微境的產生。電子顯微鏡的理論起源於1920年代de Broglie 氏首先發表之電子波動說，電磁波之特性與光波極為類似，但波長很短，電磁波波長之公式為 λ＝12.2／√V，λ為波長Å，V為加速電壓，當加速電壓為 50,000 V 時波長約為 0.535Å。
電子顯微鏡種類
穿透式電子顯微鏡
(Transmission Electron Microscope, TEM)
掃瞄式電子顯微鏡
(Scanning Electron Microscope, SEM)
掃瞄穿透式電子顯微鏡
(Scanning Transmission Electron
Microscope, STEM)
分析型電子顯微鏡
(Analytical Electron Microscope ,AEM)
分析儀器解析率之比較
電子顯微鏡的組成
電子槍
透鏡
照相系統
真空系統
附件
掃瞄式電子顯微鏡原理與應用
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